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> 새소식 > 신제품 소개
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[RPG Generator] [RF Generator: NPG-600A] 
- - PL-11, PL-F1, PL-F2
- - RF Generator: 반도체 Wafer 가공을 위한 Plasma 발생 고주파 전원 장치
- Plasma Source: Ferrite Core를 적용 검토 중(UU type - 2모델 개발 중; U156, U14; PL-F1)
- RPG: 공정장비 쳄버 내 유해가스를 세정하는 원격 Plasma 발생기 