• 新产品介绍
• 半导体及LCD设备用RF Generator

• [RPG Generator]	[RF Generator: NPG-600A]

• ◎ 材质
• - PL-11, PL-F1, PL-F2
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• - RF Generator: 为了半导体Wafer加工，发生等离子体的高频电源装置
  - Plasma Source: 考虑应用铁氧体磁心(Ferrite Core)(正在开发UU type – 2型号; U156, U14; PL-F1)
  - RPG: 洗净工程装备室内有害气体的远程等离子体(Plasma)发生器
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